Herzアクティブ防振台-Herzアクティブ防振台-AVIアクティブ防振台

Herz能動防振台-Herz能動式防振台-AVI能動防振台は高負荷精密科学研究設備のための優れた防振システムであり、モジュール化され、設置しやすい設計であり、AVI-400 WORKSTATIONの多機能高性能防振は一般的に大量の機器に適用され、ナノテクノロジー大型機器防振の最適な解決策である。低周波防振機能を必要とする既存の装置へのアップグレードと統合には理想的な選択肢であり、アクティブ制振台-アクティブ制振台-アクティブ制振光学プラットフォーム-herz avi 400 seriesはシステム全体のサイズと構成を自由に選択でき、防振モジュールの数を増やすことでシステムの耐力を増大させることができる（最大耐力は9000ポンドまで）。

製品特徴：

• マスター周波数1 Hz～200 Hz
• 受動防振周波数>200 Hz
• 5〜20ミリ秒の応答時間
• 取り付けが簡単で使いやすい
• 故障なく長年使い続けることができる
• LEDディスプレイによる制御

アプリケーション：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• リソグラフィ
• スペクトルそくてい
• 高精度測定
• その他の高精密機器

Herzアクティブ防振台-Herzアクティブ防振台-AVIアクティブ防振台製品の利点：

• システムは入力振動を積極的に検出し、動的に除去する
• 六つの角度自由防振
• 内部フィードバック回路はすべての機械共振を抑制する
• 優れた低域防振能力を提供する
• 低周波共振なし空気要件なし

技術パラメータ：

防振範囲：能動：1-200 Hz、パッシブ:>200Hz

防振範囲：10 Hzを超える伝送<0.017（-35 dB）

モジュールサイズ：W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)

モジュール重量：40 KG/88 Lbs

静的柔軟性（モジュールごと）

垂直方向：約1.7μm/N

水平方向：約3.4μm/N

システムノイズ：50 nG/√Hz未満

消費電力：18 W（標準構成

入力電圧：90-125 VAC/200-250 VAC、50 – 60 Hz

コントローラサイズ：48 x 13 x 25 cm/19 x 5.1 x 9.8」

性能監視：オシロスコープに表示される多重信号を通じて防振効果のある振動レベルを表す

オプションモデル：